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管式PECVD流量對太陽電池氮化硅膜影響的工藝技術

管式PECVD流量對太陽電池氮化硅膜影響的工藝技術

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級別:| 積分:60 分 | 瀏覽:85436 | 大小:179.00KB | 下載:5560 次 | 上傳:2013-03-22

簡介:

管式PECVD設備的工藝氣體流量的改變,會直接改變膜厚、折射率、吸光系數(shù)、少子壽命、轉換效率,而其變化不是單調上升或單調下降的,通過該技術分析,可以避免在工藝中為了獲得膜均勻而忽略了流量是和電池轉換效率密切相關的事實,可以讓大家進一步明白電池轉換效率與膜性能的密切聯(lián)系。

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