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管式PECVD流量對太陽電池氮化硅膜影響的工藝研究

管式PECVD流量對太陽電池氮化硅膜影響的工藝研究

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級別:| 積分:100 分 | 瀏覽:80496 | 大。174.50KB | 下載:4453 次 | 上傳:2013-10-14

簡介:

本文針對目前國內(nèi)在太陽能電池行業(yè)使用管式PECVD沉積氮化硅減反射膜時為了實現(xiàn)均勻性而隨意調(diào)整工藝氣體流量而做出實驗性分析,避免在工藝過程中發(fā)現(xiàn)電池轉(zhuǎn)換效率下降了而難以找到原因。

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