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基于PMAC的直線(xiàn)電機(jī)PID研究

基于PMAC的直線(xiàn)電機(jī)PID研究

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級(jí)別:| 積分:100 分 | 瀏覽:83206 | 大。499.32KB | 下載:5689 次 | 上傳:2013-05-14

簡(jiǎn)介:

本文介紹了PMAC 運(yùn)動(dòng)控制器及直線(xiàn)電機(jī)原理,著重講述基于PMAC 控制器的直線(xiàn)電機(jī)PID 調(diào)節(jié),并提出了PID+ 前饋控制法對(duì)直線(xiàn)電機(jī)進(jìn)行控制。該方法應(yīng)用于光刻機(jī)控制系統(tǒng)中,并已投入現(xiàn)代工業(yè)。

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