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薄膜淀積技術

薄膜淀積技術

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:85490 | 大。79.00KB | 下載:5462 次 | 上傳:2013-03-22

簡介:

1 引言; 2 討論; 2.1 真空薄膜淀積理論的研究概況; 2.2 常用真空薄膜淀積技術; 2.3 熱氧化法(thermal Oxidation); 2.4 電鍍法(plating); 2.5 物理淀積; 3 結論;

[展開]
 

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