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多晶硅片在空氣中暴露時間長短對清洗效果的影響

多晶硅片在空氣中暴露時間長短對清洗效果的影響

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級別:| 積分:0 分 | 瀏覽:79687 | 大。2.13MB | 下載:4398 次 | 上傳:2013-12-05

簡介:

本次試驗驗證硅片在空氣暴露時間的長短對清洗效果的影響,試驗一中硅片在空氣中長時間暴露,已經(jīng)風干,出現(xiàn)大量水印片,試驗二中,硅片在空氣中放置5分鐘后清洗,出現(xiàn)面積較小的水印片。

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