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多晶硅薄膜的制備方法

多晶硅薄膜的制備方法

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級(jí)別:| 積分:0 分 | 瀏覽:78640 | 大。22.00KB | 下載:4353 次 | 上傳:2014-01-20

簡(jiǎn)介:

多晶硅薄膜材料同時(shí)具有單晶硅材料的高遷移率及非晶硅材料的可大面積、低成本制備的優(yōu)點(diǎn)。

         
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