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三氯硅烷的制備及精制工藝進(jìn)展

三氯硅烷的制備及精制工藝進(jìn)展

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級別:| 積分:100 分 | 瀏覽:80458 | 大。37.50KB | 下載:4451 次 | 上傳:2013-10-14

簡介:

三氯硅烷(HSiCl3)是一種重要的高附加值原料,主要用作半導(dǎo)體工業(yè)中制造超純多晶硅和高純硅烷的原料及外延生長的硅源。

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